應用領域

CKD化學液體用氣控閥專為半導體制造工廠的化學液體供給設備等設計的閥，可耐受高壓、高背壓。可耐受供液管線的高壓、高背壓、大流量的0.7MPa規格。

安全性能

采用在滲透性、透過性強的高濃度、高壓化學液體供給管線中使用也安全放心的設計。排除金屬部件，更加安全放心。同時采用可以防止過度擰緊、錯誤分解的結構，安全放心。

產品特點

1.擴大使用壓力范圍，通過采用新密封結構，擴大使用壓力范圍。

2.酸堿適用，執行器采用耐化學*性優異的氟樹脂“PVDF”，標準型應用非常廣泛，酸堿同樣適用。

3.擴大流體溫度范圍，大幅擴大使用流體溫度范圍（Max. 120℃），可選擇帶傳感器的類型，通過信號確認閥的開閉情況。