超純水*初是美國科技界為了研制超純材料，應用適當的超臨界精細技術生產出來的水。如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。

工作原理：1. 水進入純化系統，主要部分流入樹脂 / 膜內部，而另一部分沿模板外側流動，以洗去透出膜外的離子。2. 樹脂截留水中的溶存離子。3. 被截留的離子在電極作用下，陰離子向正極方向運動，陽離子向負極方向運動。4. 陽離子透過陽離子膜，排出樹脂 / 膜之外。5. 陰離子透過陰離子膜，排出樹脂 / 膜之外。6. 濃縮了的離子從廢水流路中排出。7. 去離子水從樹脂 / 膜內流出。

行業標準：超純水水質分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。